Sze, Simon M. VLSI TECHNOLOGY 2E (6/P)

ISBN 13: 9780071003476

VLSI TECHNOLOGY 2E (6/P)

 
9780071003476: VLSI TECHNOLOGY 2E (6/P)

This is a superb state-of-the-art collection of contributed readings by nationally recognized authorities in VLSI technology. The emphasis of this text is on fabrication.

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Contenuti:

Chapter 1: Crystal Growth and water prepreparation

Chapter 2: Epitaxy

Chapter 3: Oxidation

Chapter 4: Lithography

Chapter 5: Reactive Plasma Etching

Chapter 6: Dielectric and Polysilicon Film Deposition

Chapter 7: Diffusion, Ion Implementation

Chapter 8: Metallization

Chapter 9: Process Simulation

Chapter 10: LSI Process Integration

Chapter 11: Analytical Techniques

Chapter 12: Assembly techniques and Packaging of VLSI Devices

Chapter 13: Yield and Reliability

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