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- EditoreElsevier Science Ltd
- Data di pubblicazione2020
- ISBN 10 0128177861
- ISBN 13 9780128177860
- RilegaturaCopertina flessibile
- LinguaInglese
- Numero edizione3
- Numero di pagine996
- RedattoreTilli Markku, Paulasto-krockel Mervi, Petzold Matthias, Theuss Horst, Motooka Teruaki
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Handbook of Silicon Based Mems Materials and Technologies
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Handbook of Silicon Based Mems Materials and Technologies
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Condizione: New. KlappentextrnrnProvides vital packaging technologies and process knowledge for silicon direct bonding, anodic bonding, glass frit bonding and related techniques Shows how to protect devices from the environment and decrease package size for a dr. Codice articolo 322256068
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