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The main microsensors described here are made using conventional thick and thin film technologies as well as more recent methods such as silicon micromachining. Following a chapter on basic signal processing, the book concentrates on microsensors—the processing of materials for their fabrication; the wide range of physical, chemical and mechanical principles employed and the benefits incurred from the application of smart sensors and microsensor array devices. Features numerous examples.
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- EditoreJohn Wiley & Son Ltd
- Data di pubblicazione1994
- ISBN 10 0471941360
- ISBN 13 9780471941361
- RilegaturaCopertina flessibile
- Numero di pagine300
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Microsensors: Principles and Applications
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Wiley
(1994)
ISBN 10: 0471941360
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Microsensors: Principles and Applications
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(1994)
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Microsensors: Principles and Applications
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(1994)
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Microsensors: Principles and Applications
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(1995)
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ISBN 13: 9780471941361
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Microsensors: Principles and Applications
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(1994)
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Microsensors Principles and Applications
Editore:
John Wiley and Sons, Chichester and New York
(1984)
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