Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs

ISBN 13: 9780521570800

Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs

Valutazione media 0
( su 0 valutazioni fornite da Goodreads )
 
9780521570800: Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs
Vedi tutte le copie di questo ISBN:
 
 

In semiconductor-device fabrication processes, lithography technology is used to print circuit patterns on semiconductor wafers. The remarkable miniaturization of semiconductor devices has been made possible only because of the continuous progress in lithography technology. However, for the trend of ever-increasing miniaturization to continue a breakthrough in lithography technology is now needed. This book describes advanced techniques under development in Japan and elsewhere that represent the key to future semiconductor-device fabrication. The background to developments in lithography technology, trends in ULSI technology and future prospects are reviewed, and the requirements that future lithography technology must meet are described. Several important lithography methods, such as deep UV lithography, X-ray lithography, electron-beam lithography, and focused ion-beam lithography are described in detail by experts in each area. The principles underlying each of these methods are illustrated at the beginning of each chapter to help the reader understand the basis of the different approaches.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Descrizione del libro:

This book describes advanced techniques under development in Japan and elsewhere that represent the key to future semiconductor-device fabrication. Several important lithography methods, such as deep UV, X-ray, electron-beam, and focused ion-beam lithography are described in detail by experts. The principles underlying each of the techniques are illustrated at the beginning of each chapter.

Contenuti:

1. Introduction Masao Fukuma; 2. Optical lithography Kunihiko Kasama, Shinji Okazaki, Hisatake Sano and Wataru Wakamiya; 3. X-ray lithography Kimiyoshi Deguchi, Teruo Hosokawa, Sunao Ishihara and Katsumi Suzuki; 4. Electron beam lithography Takayuki Abe, Koichi Moriizumi, Yukinori Ochiai, Norio Saitou, Tadahiro Takigawa and Akio Yamada; 5. Ion beam lithography Masanori Komuro and Shinj Matsui; 6. Resists Hiroshi Ban, Tadayoshi Kokubo, Makoto Nakase and Takeshi Ohfuji; 7. Metrology, defect inspection and repair Tadahito Matsuda, Toru Tojo and Seiichi Yabumoto; Index.

Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Altre edizioni note dello stesso titolo

9780521022347: Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs

Edizione in evidenza

ISBN 10:  0521022347 ISBN 13:  9780521022347
Casa editrice: Cambridge University Press, 2008
Brossura

I migliori risultati di ricerca su AbeBooks

1.

ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Quantità: 1
Da
DrAlex®
(Wigan, Regno Unito)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Condizione: New. Codice articolo 0521570808

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 22,97
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 9,20
Da: Regno Unito a: U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

2.

SUZUKI K.
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 2
Da
bookscollection
(Delhi, DELHI, India)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Condizione: Brand New. HARDCOVER, Book Condition New, U.S. EDITION. We Do not Ship APO FPO AND PO BOX. Printing in English language. Quick delivery by USPS/UPS/DHL/FEDEX/ARAMEX ,Customer satisfaction guaranteed. We may ship the books from Asian regions for inventory purpose. Codice articolo 9780521570800 ABE$KHD$

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 39,70
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 3,57
Da: India a: U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

3.

SUZUKI K.
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 2
Da
bookscollection
(Delhi, DELHI, India)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Condizione: Brand New. HARDCOVER, Book Condition New, U.S. EDITION. We Do not Ship APO FPO AND PO BOX. Printing in English language. Quick delivery by USPS/UPS/DHL/FEDEX/ARAMEX ,Customer satisfaction guaranteed. We may ship the books from Asian regions for inventory purpose. Codice articolo DUP 9780521570800 ABE$KHD$

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 39,70
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 3,57
Da: India a: U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

4.

Editore: Cambridge University Press (2000)
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 2
Da
Murray Media
(NORTH MIAMI BEACH, FL, U.S.A.)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Cambridge University Press, 2000. Hardcover. Condizione: New. Never used!. Codice articolo P110521570808

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 50,39
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: GRATIS
In U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

5.

Katsumi Suzuki (Editor), Shinji Matsui (Editor), Yukinori Ochiai (Editor)
Editore: Cambridge University Press (2000)
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 1
Da
Ergodebooks
(RICHMOND, TX, U.S.A.)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Cambridge University Press, 2000. Hardcover. Condizione: New. Codice articolo DADAX0521570808

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 68,01
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 3,52
In U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

6.

Editore: Cambridge University Press (2000)
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 1
Da
Irish Booksellers
(Portland, ME, U.S.A.)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Cambridge University Press, 2000. Condizione: New. book. Codice articolo M0521570808

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 77,52
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 2,88
In U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

7.

ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Quantità: 1
Da
BennettBooksLtd
(San Diego, CA, U.S.A.)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Condizione: New. New. Codice articolo S-0521570808

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 86,35
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 4,37
In U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

8.

Suzuki, Katsumi
Editore: Cambridge University Press (2000)
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Quantità: 7
Da
Books2Anywhere
(Fairford, GLOS, Regno Unito)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Cambridge University Press, 2000. HRD. Condizione: New. New Book. Shipped from UK in 4 to 14 days. Established seller since 2000. Codice articolo FM-9780521570800

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 86,29
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 10,36
Da: Regno Unito a: U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

9.

Katsumi Suzuki
Editore: Cambridge University Press
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 5
Da
THE SAINT BOOKSTORE
(Southport, Regno Unito)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro Cambridge University Press. Hardback. Condizione: New. New copy - Usually dispatched within 2 working days. Codice articolo B9780521570800

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 105,17
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 7,99
Da: Regno Unito a: U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

10.

EDITED BY KATSUMI SUZUKI , SHINJI MATSUI , YUKINORI OCHIAI
ISBN 10: 0521570808 ISBN 13: 9780521570800
Nuovo Rilegato Quantità: 1
Da
Herb Tandree Philosophy Books
(Stroud, GLOS, Regno Unito)
Valutazione libreria
[?]

Descrizione libro 2000. Hardback. Condizione: NEW. 9780521570800 This listing is a new book, a title currently in-print which we order directly and immediately from the publisher. For all enquiries, please contact Herb Tandree Philosophy Books directly - customer service is our primary goal. Codice articolo HTANDREE0463762

Informazioni sul venditore | Contattare il venditore

Compra nuovo
EUR 117,98
Convertire valuta

Aggiungere al carrello

Spese di spedizione: EUR 9,21
Da: Regno Unito a: U.S.A.
Destinazione, tempi e costi

Vedi altre copie di questo libro

Vedi tutti i risultati per questo libro