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Sinossi
The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.
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Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Microlithography
Editore:
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
ISBN 10: 0819423785
ISBN 13: 9780819423788
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
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Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39) Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks and P. Rai-Choudhury
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