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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 1: Microlithography - Brossura
The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production, and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.
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- EditoreSPIE Press
- Data di pubblicazione1997
- ISBN 10 081949786X
- ISBN 13 9780819497864
- RilegaturaCopertina flessibile
- Numero di pagine776
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 1 Microlithography Press Monographs
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HANDBOOK OF MICROLITHOGRAPHY MICROMACHINING AND MICROFABRICATION VOLUME 1 (PM39SC)
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