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Sinossi
Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.
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Informazioni sull?autore
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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- EditoreArtech House on Demand
- Data di pubblicazione1999
- ISBN 10 0890065810
- ISBN 13 9780890065815
- RilegaturaCopertina rigida
- LinguaInglese
- Numero edizione2
- Numero di pagine265
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Da: ThriftBooks-Dallas, Dallas, TX, U.S.A.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Da: Better World Books, Mishawaka, IN, U.S.A.
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Da: Better World Books: West, Reno, NV, U.S.A.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)
Editore:
ARTECH HOUSE INC 01.12.1999., 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Da: SecondSale, Montgomery, IL, U.S.A.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Da: A Squared Books (Don Dewhirst), South Lyon, MI, U.S.A.
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Hardcover. Condizione: Very Good. 2000; Boston; illustrated, glossy paper covered boards; light wear with some residue on front cover at the top corner; interior is clean and unmarked; 8vo, 7 3/4" to 9 3/4" tall; 265 pages. Codice articolo SKU1141037
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Norwood, Massachusetts, U.S.A.: Artech House on Demand, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Da: Bingo Books 2, Vancouver, WA, U.S.A.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Da: Toscana Books, AUSTIN, TX, U.S.A.
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