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Gate Stack and Silicide Issues in Silicon: Volume 670 - Brossura

 
9781107412194: Gate Stack and Silicide Issues in Silicon: Volume 670
Brossura
ISBN 10: 1107412196 ISBN 13: 9781107412194
Casa editrice: Cambridge University Press, 2014

Al momento non sono disponibili copie per questo codice ISBN.

Sinossi

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners. This volume was first published in 2002.

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Descrizione del libro

As technologists consider scaling microelectronic devices below the 100nm node, it is clear that many new materials will be introduced into the fab line. Determining the best materials and the best processing techniques are extremely challenging tasks. Much of this book, first published in 2002, attempts to find a replacement for silicon dioxide.

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Editore
Cambridge University Press
Data di pubblicazione
2014
Lingua
Inglese
ISBN 10 
1107412196
ISBN 13 
9781107412194
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
290
Redattore
Campbell S. A., Clevenger L. A., Griffin P. B., Hobbs C. C.
Contatto del produttore
non disponibile

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ISBN 10:  1558996060 ISBN 13:  9781558996069
Casa editrice: Cambridge University Press, 2002
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