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Processing of Semiconductors: v. 16 ISBN 13: 9783527268290

Processing of Semiconductors: v. 16 - Brossura

 
9783527268290: Processing of Semiconductors: v. 16

Sinossi

This self-contained handbook deals with the enabling materials technology for the electronics industry. World renowned authors have contributed to this unique treatment of the processing of semiconductors and related technologies.

Contents: Wilkes: Silicon Processing. Mullin: Compound Semiconductor Processing, Kuech/BleLagally/Tischler: Epitaxial Growth. Leuschner/Pawlowski: Photolithography. Griffin: Doping. Turner/Donohoe: Etching Processes in Semiconductor Manufacturing. Chang/Sze: Silicon Device Structures. Lam/Stanchina: Compound Semiconductor Device Structures. Kwong: Silicon Device Processing. Parsey, Jr: Compound Semiconductor Device Processing. Amey: Chip Carriers. Knausenberger/Turlik: Interconnection Systems.

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Cahn, Robert W.
Editore: Wiley-VCH, 1997
ISBN 10: 3527268294 ISBN 13: 9783527268290
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