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Excimer Laser Lithography

Jain, Kanti

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ISBN 10: 0819402729 / ISBN 13: 9780819402721
Editore: SPIE Optical Engineering Press, 1990
Condizione: Good Rilegato
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Usual ex-library features. The interior is clean and tight. Binding is good. Cover shows slight wear. 212 pages. Codice inventario libreria 113574

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Dati bibliografici

Titolo: Excimer Laser Lithography

Casa editrice: SPIE Optical Engineering Press

Data di pubblicazione: 1990

Legatura: Hard Cover

Condizione libro:Good

Condizione sovraccoperta: No Jacket

Tipologia articolo: Ex-Library

Descrizione articolo

Riassunto:

Contents

- Sources for Deep Ultraviolet Lithography

- Lithography with Conventional Lasers

- Lithography with Excimer Lasers

- Excimer Laser Sources

- Resists for Excimer Laser Lithography

- Excimer Laser Etching and Deposition

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