The drive toward new semiconductor technologies is intricately related to market demands for cheaper, smaller, faster, and more reliable circuits with lower power consumption. The development of new processing tools and technologies is aimed at optimizing one or more of these requirements. This goal can, however, only be achieved by a concerted effort between scientists, engineers, technicians, and operators in research, development, and manufac� turing. It is therefore important that experts in specific disciplines, such as device and circuit design, understand the principle, capabil� ities, and limitations of tools and processing technologies. It is also important that those working on specific unit processes, such as lithography or hot processes, be familiar with other unit processes used to manufacture the product. Several excellent books have been published on the subject of process technologies. These texts, however, cover subjects in too much detail, or do not cover topics important to modem tech� nologies. This book is written with the need for a "bridge" between different disciplines in mind. It is intended to present to engineers and scientists those parts of modem processing technologies that are of greatest importance to the design and manufacture of semi� conductor circuits. The material is presented with sufficient detail to understand and analyze interactions between processing and other semiconductor disciplines, such as design of devices and cir� cuits, their electrical parameters, reliability, and yield.

Contenuti

1: Semiconductor Crystals. 1.1. Crystals and Crystallographic Orientations. 1.2. The Silicon Crystal. 1.3. Wafer Preparation. 1.4. Compound Semiconductors. 2: Thermal Oxidation and Nitridation. 2.1. SiO2 and SiO2-Si Interface. 2.2. Thermal Oxidation. 3: Thin Film Deposition. 3.1. Chemical Vapor Deposition. 3.2. Chemical-Physical Deposition Processes. 3.3. Physical-Vapor Deposition. 4: Lithography. 4.1. Optical Lithography. 4.2. Resolution Enhancement Techniques. 4.3. Electron-Beam Lithography. 4.4. X-Ray Lithography. 4.5. Ion-Beam Lithography. 5: Contamination Control and Etch. 5.1. Clean Processes. 5.2. Etching. 6: Ion Implantation. 6.1. Principle of Operation. 6.2. Energy Loss and Range Distribution. 6.3. Crystal Damage and Dopant Activity. 7: Diffusion. 7.1. Point Defects. 7.2. Fick's Laws. 7.3. Non-Constant Diffusivity. 7.4. Diffusion in Polysilicon. 7.5. Diffusion in Insulators. 7.6. Diffusion Sources. 7.7. Gettering in Silicon. 8: Contact and Interconnect Technology. 8.1. Contact Metallurgy. 8.2. Poly-Metal Dielectrics. 8.3. Metal Interconnects. 8.4. Inter-Level Dielectrics. 8.5. Multi-Level Metals. 8.6. Reliability Considerations. Subject Index.

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Se sei un consumatore, puoi esercitare il tuo diritto di recesso seguendo le istruzioni riportate di seguito. Per "consumatore" si intende qualsiasi persona fisica che agisca per fini che non rientrano nel quadro della sua attivit� commerciale, industriale, artigianale o professionale.

Informazioni relative al diritto di recesso

Diritto di recesso

Hai il diritto di recedere dal presente contratto, senza indicarne le ragioni, entro 14 giorni.

Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui

tu acquisisci, o un terzo designato diverso dal vettore e da te acquisisce, il possesso fisico dell'ultimo bene o l'ultimo lotto o pezzo.

Per esercitare il diritto di recesso, sei tenuto a informare Ria Christie Collections, Suite B; (inside) ARUN House; ARUN, Arundel Road; Uxbridge Ind Est, UB8 2RR, Uxbridge, United Kingdom, +44 7727654838, della tua decisione di recedere dal presente contratto tramite una dichiarazione esplicita (ad esempio lettera inviata per posta, fax o posta elettronica). A tal fine puoi utilizzare il modulo tipo di recesso, ma non e' obbligatorio. Puoi anche compilare e inviare elettronicamente il modulo tipo di recesso o qualsiasi altra esplicita dichiarazione sul nostro sito web, dalla sezione "Ordini" nel "Mio Account". Nel caso scegliessi questa opzione, ti trasmetteremo senza indugio una conferma di ricevimento su un supporto durevole (ad esempio per posta elettronica).

Per rispettare il termine di recesso, � sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso.

Effetti del recesso

Se recedi dal presente contratto, ti saranno rimborsati tutti i pagamenti che hai effettuato a nostro favore, compresi i costi di consegna (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di consegna diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto). Potremo trattenere dal rimborso le somme derivanti da una diminuzione del valore del prodotto risultante da una tua non necessaria manipolazione.

I rimborsi verranno effettuati senza indebito ritardo e in ogni caso non oltre 14 giorni dal giorno in cui siamo stati informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.

Detti rimborsi saranno effettuati utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente convenuto altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso. Il rimborso pu� essere sospeso fino al ricevimento dei beni oppure fino all'avvenuta dimostrazione da parte tua di aver rispedito i beni, se precedente.

Ti preghiamo di rispedire i beni o di consegnarli a Ria Christie Collections, Suite B; (inside) ARUN House; ARUN Building, Arundel Road; Uxbridge Ind Est, UB8 2RR, Uxbridge, United Kingdom, +44 7727654838, senza indebiti ritardi e in ogni caso entro 14 giorni dal giorno in cui hai comunicato il tuo recesso dal presente contratto. Il termine � rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione del bene diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni.

Eccezioni al diritto di recesso

Il diritto di recesso non si applica in caso di:

fornitura di giornali, periodici e riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento per la fornitura di tali pubblicazioni;
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Modulo di recesso tipo

(Compilare e restituire il presente modulo solo se si desidera recedere dal contratto)

Destinatario: (Ria Christie Collections, Suite B; (inside) ARUN House; ARUN, Arundel Road; Uxbridge Ind Est, UB8 2RR, Uxbridge, United Kingdom, +44 7727654838)

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