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Dati bibliografici

Titolo

Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)

Editore

William Andrew

Data di pubblicazione

1991

Lingua

Inglese

ISBN 10

0815512201

ISBN 13

9780815512202

Rilegatura

hardcover

Condizione

Good

Condizione della sovraccoperta

Good

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Riassunto

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

Recensione

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

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