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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX - Brossura

 
9781628415261: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX
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Proceedings of SPIE present the original research papers presented at SPIE conferences and other high-quality conferences in the broad-ranging fields of optics and photonics. These books provide prompt access to the latest innovations in research and technology in their respective fields. Proceedings of SPIE are among the most cited references in patent literature.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

  • EditoreSPIE Press
  • Data di pubblicazione2015
  • ISBN 10 1628415266
  • ISBN 13 9781628415261
  • RilegaturaCopertina flessibile
  • Numero di pagine277
  • RedattoreCain Jason

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