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Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.
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L'autore:
Farès Tounsi, Ingénieur en électronique, 2001, et Docteur en Micro et Nano Système de l'Institut Nationale Polytechnique de Grenoble, 2010.
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- EditoreUniv Européenne
- Data di pubblicazione2011
- ISBN 10 6131584931
- ISBN 13 9786131584930
- RilegaturaCopertina flessibile
- Numero di pagine172
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Microphone électrodynamique MEMS en technologie CMOS
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