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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications
Da: ThriftBooks-Atlanta, AUSTELL, GA, U.S.A.
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 14,90
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EUR 37,59
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Handbook Of Vlsi Microlithography : Principles, Technology And Applications
Da: Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, U.S.A.
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 50,47
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY : PRINCIPLES, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
Da: Basi6 International, Irving, TX, U.S.A.
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 50,47
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EUR 60,22
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Da: Chiron Media, Wallingford, Regno Unito
Valutazione del venditore 4 su 5 stelle
EUR 45,87
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Da: GreatBookPrices, Columbia, MD, U.S.A.
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 63,29
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Da: Ria Christie Collections, Uxbridge, Regno Unito
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 63,88
Convertire valutaEUR 13,85 per la spedizione da Regno Unito a U.S.A.Quantità: Più di 20 disponibili
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EUR 71,11
Convertire valutaEUR 7,67 per la spedizione in U.S.A.Quantità: 2 disponibili
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Da: GreatBookPricesUK, Woodford Green, Regno Unito
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 61,43
Convertire valutaEUR 17,35 per la spedizione da Regno Unito a U.S.A.Quantità: Più di 20 disponibili
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Handbook of Vlsi Microlithography: Principles, Technology and Applications
Da: Revaluation Books, Exeter, Regno Unito
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 53,12
Convertire valutaEUR 28,91 per la spedizione da Regno Unito a U.S.A.Quantità: 2 disponibili
Aggiungi al carrelloHardcover. Condizione: Brand New. 1st edition. 671 pages. 10.00x6.75x2.25 inches. In Stock.
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Da: GreatBookPricesUK, Woodford Green, Regno Unito
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 72,31
Convertire valutaEUR 17,35 per la spedizione da Regno Unito a U.S.A.Quantità: Più di 20 disponibili
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology) [Hardcover] Glendinning, William B. and Helbert, John N.
Da: Hay-on-Wye Booksellers, Hay-on-Wye, HEREF, Regno Unito
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 23,81
Convertire valutaEUR 75,17 per la spedizione da Regno Unito a U.S.A.Quantità: 1 disponibili
Aggiungi al carrelloCondizione: As New.
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Da: GreatBookPrices, Columbia, MD, U.S.A.
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
EUR 99,51
Convertire valutaEUR 2,26 per la spedizione in U.S.A.Quantità: Più di 20 disponibili
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Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Editore: Elsevier Science & Technology, William Andrew, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Lingua: Inglese
EUR 66,28
Convertire valutaEUR 65,87 per la spedizione da Germania a U.S.A.Quantità: 2 disponibili
Aggiungi al carrelloBuch. Condizione: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
