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Sinossi
This new text introduces the material of each process type by explaining the underlying chemical engineering (and physical) principles. For microelectronic processing courses the text progresses from an overview of microelectronics processing through a logically-sequenced discussion of the processes leading to integrated circuits. The author is very careful to define terms that may be unfamiliar to chemical engineers, to provide numerous examples to aid in their understanding, and to include ample end-of-chapter problems.
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- EditoreMcGraw-Hill Education (ISE Editions)
- Data di pubblicazione1990
- ISBN 10 0071007962
- ISBN 13 9780071007962
- RilegaturaCopertina rigida
- LinguaInglese
- Numero di pagine532
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Fundamentals of Microelectronics Processing
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