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Plasma Etching: An Introduction - Brossura

 
9780123959669: Plasma Etching: An Introduction
Brossura
ISBN 10: 0123959667 ISBN 13: 9780123959669
Casa editrice: Academic Press, 2016

Sinossi

Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. Throughout the volume the authors offer practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
Academic Press
Data di pubblicazione
2016
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0123959667
ISBN 13 
9780123959669
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
490
Redattore
Manos Dennis M.
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile