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Introductory MEMS: Fabrication and Applications - Brossura

Adams, Thomas M.; Layton, Richard A.

 
9780387560588: Introductory MEMS: Fabrication and Applications
Brossura
ISBN 10: 0387560580 ISBN 13: 9780387560588
Casa editrice: Springer, 2008

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Sinossi

Fabrication.- The substrate and adding material to it.- Creating and transferring patterns#x2014;Photolithography.- Creating structures#x2014;Micromachining.- Solid mechanics.- Applications.- Thinking about modeling.- MEMS transducers#x2014;An overview of how they work.- Piezoresistive transducers.- Capacitive transducers.- Piezoelectric transducers.- Thermal transducers.- to microfluidics.- Laboratories.- Microfabrication laboratories.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
Springer
Data di pubblicazione
2008
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0387560580
ISBN 13 
9780387560588
Rilegatura
Paperback
Numero di pagine
462
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile

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