Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics: Proceedings of Symposium d on Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics of the 1993: ... Strasbourg, France, 4-7 May 1993: v. 42 - Rilegato

Symposium D On Beam Processing And Laser Chemistry; Katz, Avishay; Nissim, Yves I.

 
9780444819833: Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics: Proceedings of Symposium d on Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics of the 1993: ... Strasbourg, France, 4-7 May 1993: v. 42
Rilegato
ISBN 10: 0444819835 ISBN 13: 9780444819833
Casa editrice: North-Holland, 1994

Sinossi

These proceedings focus on the technology application driving forces for multichamber approaches to semiconductor process sequences, otherwise called cluster tools or integrated processing and present research results upon which these manufacturing technologies are built.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
North-Holland
Data di pubblicazione
1994
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0444819835
ISBN 13 
9780444819833
Rilegatura
Copertina rigida
Numero di pagine
320
Redattore
Rubloff G. W.
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile