Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

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9780470727300: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting http://www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB(r), to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.

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1.

Chris A. MacK
Editore: John Wiley and Sons Ltd, United States (2008)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi Paperback Prima edizione Quantità: 10
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The Book Depository
(London, Regno Unito)
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Descrizione libro John Wiley and Sons Ltd, United States, 2008. Paperback. Condizione libro: New. 1. Auflage. 244 x 168 mm. Language: English . Brand New Book. The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting enhances the reader s understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB(r), to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors. Codice libro della libreria AAH9780470727300

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Chris A. Mack
Editore: John Wiley and Sons Ltd 2007-11-16, Hoboken (2007)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi paperback Quantità: 10
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Blackwell's
(Oxford, OX, Regno Unito)
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Descrizione libro John Wiley and Sons Ltd 2007-11-16, Hoboken, 2007. paperback. Condizione libro: New. Codice libro della libreria 9780470727300

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3.

Chris Mack
Editore: Wileyand#8211;Blackwell (2007)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
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(Fairford, GLOS, Regno Unito)
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Descrizione libro Wileyand#8211;Blackwell, 2007. PAP. Condizione libro: New. New Book. Shipped from UK in 4 to 14 days. Established seller since 2000. Codice libro della libreria FW-9780470727300

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4.

Chris A. MacK
Editore: John Wiley and Sons Ltd, United States (2008)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi Paperback Prima edizione Quantità: 10
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(London, Regno Unito)
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Descrizione libro John Wiley and Sons Ltd, United States, 2008. Paperback. Condizione libro: New. 1. Auflage. 244 x 168 mm. Language: English . Brand New Book. The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting enhances the reader s understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB(r), to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors. Codice libro della libreria AAH9780470727300

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5.

Chris Mack
Editore: Wileyand#8211;Blackwell (2007)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
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Descrizione libro Wileyand#8211;Blackwell, 2007. PAP. Condizione libro: New. New Book. Delivered from our UK warehouse in 3 to 5 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. Codice libro della libreria LQ-9780470727300

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6.

Mack, Chris
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
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BWB
(Valley Stream, NY, U.S.A.)
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Chris Mack
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi Paperback Prima edizione Quantità: 1
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(Wilmington, DE, U.S.A.)
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Descrizione libro 2008. Paperback. Condizione libro: New. 1st. 172mm x 31mm x 240mm. Paperback. The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three cat.Shipping may be from multiple locations in the US or from the UK, depending on stock availability. 515 pages. 0.993. Codice libro della libreria 9780470727300

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8.

Mack
Editore: John Wiley & Sons (2016)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi Paperback Quantità: 1
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Ria Christie Collections
(Uxbridge, Regno Unito)
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Descrizione libro John Wiley & Sons, 2016. Paperback. Condizione libro: New. PRINT ON DEMAND Book; New; Publication Year 2016; Not Signed; Fast Shipping from the UK. No. book. Codice libro della libreria ria9780470727300_lsuk

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9.

Mack, Chris
Editore: Somerset, New Jersey, U.S.A.: John Wiley & Sons Inc (2008)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi Soft cover Quantità: 11
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LINDABOOK
(Taipei, TP, Taiwan)
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Descrizione libro Somerset, New Jersey, U.S.A.: John Wiley & Sons Inc, 2008. Soft cover. Condizione libro: New. Ship out 1-2 business day,Brand new,US edition, Free tracking number usually 2-4 biz days delivery to worldwide Same shipping fee with US, Canada,Europe country, Australia, item will ship out from either LA or Asia,k. Codice libro della libreria ABE-5969089602

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10.

Mack
Editore: John Wiley & Sons (2007)
ISBN 10: 0470727306 ISBN 13: 9780470727300
Nuovi Brossura Quantità: 1
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English-Book-Service Mannheim
(Mannheim, Germania)
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Descrizione libro John Wiley & Sons, 2007. Condizione libro: New. Codice libro della libreria EH9780470727300

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