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This book introduces the reader to the theory and practice of modern vacuum technology, with applications. It focuses on the understanding, operation and selection of equipment for vacuum processes used in semiconductor, optical and related technologies. This second edition has new information on components, lubrication, pump fluids and other materials. Basic characteristics and operational procedures are given for each high-vacuum pumping system. The book will be of benefit to electrical and mechanical engineers and graduate students. The previous edition of this book was published in 1980.
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Product Description
Book by OHanlon John F
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- EditoreJohn Wiley & Sons Inc
- Data di pubblicazione1989
- ISBN 10 0471812420
- ISBN 13 9780471812425
- RilegaturaCopertina rigida
- LinguaInglese
- Numero edizione2
- Numero di pagine512
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A User's Guide to Vacuum Technology
Editore:
Wiley & Sons, Incorporated, John, 1989
ISBN 10: 0471812420
ISBN 13: 9780471812425
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Da: Better World Books, Mishawaka, IN, U.S.A.
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A User's Guide to Vacuum Technology
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Wiley-Interscience, 1989
ISBN 10: 0471812420
ISBN 13: 9780471812425
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A User's Guide to Vacuum Technology
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Wiley-Interscience, 1989
ISBN 10: 0471812420
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A User's Guide to Vacuum Technology
Editore:
Wiley Interscience, New York, 1989
ISBN 10: 0471812420
ISBN 13: 9780471812425
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A User's Guide to Vacuum Technology,2nd edition
Editore:
Hoboken, New Jersey, U.S.A.: Wiley-Interscience, 1989
ISBN 10: 0471812420
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A User's Guide to Vacuum Technology
Editore:
Wiley-Interscience, 1989
ISBN 10: 0471812420
ISBN 13: 9780471812425
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Da: Hilton Books, Sandbach, Regno Unito
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A User's Guide to Vacuum Technology
Da: Buchpark, Trebbin, Germania
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Condizione: Sehr gut. Zustand: Sehr gut - Gepflegter, sauberer Zustand.1989. Außen: verschmutzt. Aus der Auflösung einer renommierten Bibliothek. Kann Stempel beinhalten. | Seiten: 512 | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher. Codice articolo 42701579/202
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A User*s Guide to Vacuum Technology
Editore:
Wiley-Interscience, 1989
ISBN 10: 0471812420
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