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Sinossi
Nine contributors describe the application of laser processing techniques in the fabrication of semiconductor materials and devices for the microelectronics industry. Chapters focus on deposition, etching, doping, and direct write capability (pantography) beginning with a review of the current literature and understanding. Annotation copyright Book News, Inc. Portland, Or.
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Laser Chemical Processing for Microelectronics
Editore:
Cambridge University Press, 1989
ISBN 10: 0521322545
ISBN 13: 9780521322546
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Hardcover. Condizione: Very Good+. Covers have very minor wear to corners and edges. Interior clean, tight, and unmarked. International shipping billed at cost. Photos upon request.; Cambridge Studies In Modern Optics, Series Number 7; 8vo 8" - 9" tall; 172 pages. Codice articolo 93818
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