Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments - Brossura

Misumi, Ichiko

 
9780750331920: Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments
Brossura
ISBN 10: 0750331925 ISBN 13: 9780750331920
Casa editrice: Institute of Physics Publishing, 2021

Sinossi

This book reviews nanometrological standards before proceeding to detail pitch, step height, line width, nanoparticle size, and surface roughness. Essential for users making quantitative nanoscale measurements, in a commercial or academic research setting, or involved in engineering nanometrology for quality control in industrial applications.

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Editore
Institute of Physics Publishing
Data di pubblicazione
2021
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0750331925
ISBN 13 
9780750331920
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
94
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile

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Casa editrice: Inst of Physics Pub Inc, 2021
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