Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions - Rilegato

Rossnagel, Stephen M.; Cuomo, Jerome J.

 
9780815512202: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Sinossi

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

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Recensione

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

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Altre edizioni note dello stesso titolo

9781493303359: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Edizione in evidenza

ISBN 10:  149330335X ISBN 13:  9781493303359
Casa editrice: William Andrew, 2010
Brossura