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Handbook of Sputter Deposition Technology: Principles, Technology and Applications - Brossura

Wasa, Kiyotaka; Hayakawa, Shigeru

 
9780815512806: Handbook of Sputter Deposition Technology: Principles, Technology and Applications
Brossura
ISBN 10: 0815512805 ISBN 13: 9780815512806
Casa editrice: Noyes Pubns, 1992

Sinossi

A concise, comprehensive overview of sputter deposition technologyùa key technology for materials research in the next decade.

Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.

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Recensione

"àcomprehensively covers state-of-the-art sputtering techniques and equipmentàthoroughly addresses all fundamental aspects." - Materials and Processing Report

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  • EditoreNoyes Pubns
  • Data di pubblicazione1992
  • ISBN 10 0815512805
  • ISBN 13 9780815512806
  • RilegaturaCopertina flessibile
  • LinguaInglese
  • Numero edizione1
  • Numero di pagine304

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Microelectronics, superconductors...
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9780815512806: Handbook of Sputter Deposition Technology: Principles, Technology and Applications
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Altre edizioni note dello stesso titolo

9780323510844: Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology [Lingua inglese]

Edizione in evidenza

ISBN 10:  0323510841 ISBN 13:  9780323510844
Casa editrice: William Andrew, 2018
Brossura

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Wasa, Kiyotaka; Shigeru Hayakawa
Editore: Park Ridge NJ, Noyes., 1992
ISBN 10: 0815512805 ISBN 13: 9780815512806
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Da: Bucks County Bookshop IOBA, Doylestown, PA, U.S.A.

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Microelectronics, superconductors. Hardcover, 304 pages. Condition: near fine, no jacket. [Please note a later edition was published] ISBN 0815512805. Codice articolo 41156

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Kiyotaka Wasa, Shigeru Hayakawa, Shigeru Haber
Editore: WILLIAM ANDREW INC, 1993
ISBN 10: 0815512805 ISBN 13: 9780815512806
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Da: Buchpark, Trebbin, Germania

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