Articoli correlati a High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance
Sinossi
This book presents a comprehensive description of the most promising high density plasma sources operated at low and intermediate pressures which are used, or could be used, in plasma processing such as etching and deposition.
The authors are the leading experts in the field who are original inventors and designers of plasma sources they describe in this book.
This book gives a balanced treatment of both the theoretical aspects and practical applications. It should be of considerable interest to scientists and engineers working on plasma source designs and process developments.
Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.
Product Description
Book by Popov Oleg A
Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.
Risultati della ricerca per High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance
Foto dell'editore
High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance
Da: ThriftBooks-Atlanta, AUSTELL, GA, U.S.A.
Valutazione del venditore 5 su 5 stelle
Hardcover. Condizione: As New. No Jacket. Pages are clean and are not marred by notes or folds of any kind. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less. Codice articolo G0815513771I2N00
Compra usato
EUR 27,88
Spedizione gratuita
Spedito in U.S.A.
Spedito in U.S.A.
Quantità: 1 disponibili
Foto dell'editore
High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology Series)
Da: Mispah books, Redhill, SURRE, Regno Unito
Valutazione del venditore 4 su 5 stelle
hardcover. Condizione: Very Good. Very Good .Ships From Multiple Locations. book. Codice articolo ERICA79108155137716
Compra usato
EUR 241,87
Spedizione EUR 29,65
Spedito da Regno Unito a U.S.A.
Spedito da Regno Unito a U.S.A.
Quantità: 1 disponibili