Optical Microlithography IX: Proceedings : 13-15 March 1996 Santa Clara, California - Brossura

Society Of Photo-Optical Instrumentation Engineers; Semiconductor Equipment And Materials International; Sematech (Organization)

 
9780819421029: Optical Microlithography IX: Proceedings : 13-15 March 1996 Santa Clara, California
Brossura
ISBN 10: 0819421022 ISBN 13: 9780819421029
Casa editrice: Society of Photo Optical, 1997
Editore
Society of Photo Optical
Data di pubblicazione
1997
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0819421022
ISBN 13 
9780819421029
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
926
Redattore
Fuller Gene E.
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile