Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

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9780819423788: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Copublished with IEE. The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.

Contents

- Preface
- Introduction
- Optical Lithography
- Electron Beam Lithography
- X-ray Lithography
- Deep-UV Resist Technology
- Photomask fabrication procedures and limitations
- Metrology Methods in Photolithography
- Optical Lithography Modeling
- Issues in Nanolithography for Quantum Effect Device Manufacture
- Index

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

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1.

Harry J. Levinson, Mark A. McCord, Franc
Editore: Society of Photo-Optical Instr (1997)
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
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Levinson, Harry J.; McCord, Mark A.; Cerrina, Franco; Allen, Robert D.; Skinner, John G.; Neureuther, Andrew R.; Peckerar, Martin C.; Perkins, F. Keith; Rooks, Michael J.
Editore: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
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Harry J. Levinson, Mark A. McCord, Franco Cerrina, Robert D. Allen, John G. Skinner, Andrew R. Neureuther, Martin C. Peckerar, F. Keith Perkins, Michael J. Rooks, P. Rai-Choudhury (Editor)
Editore: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (1997)
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
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