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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: 1 - Rilegato

 
9780819423788: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: 1
Rilegato
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
Casa editrice: Society of Photo Optical, 1999
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The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.

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Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe

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Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks
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