Lithography Process Control - Brossura

Levinson, Harry J.

 
9780819430526: Lithography Process Control
Brossura
ISBN 10: 0819430528 ISBN 13: 9780819430526
Casa editrice: Society of Photo Optical, 1999

Sinossi

This tutorial text covers lithography process control at several levels, from fundamental through advanced topics. A basic familiarity with lithography science is assumed. The book is intended to be a self contained tutorial that works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
Society of Photo Optical
Data di pubblicazione
1999
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0819430528
ISBN 13 
9780819430526
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
190
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile