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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 1: Microlithography - Brossura

Rai-Choudhury, P.

 
9780819497864: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 1: Microlithography
Brossura
ISBN 10: 081949786X ISBN 13: 9780819497864
Casa editrice: SPIE Press, 1997

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Sinossi

The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production, and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
SPIE Press
Data di pubblicazione
1997
Lingua
Inglese
ISBN 10 
081949786X
ISBN 13 
9780819497864
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
776
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile

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