Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology - Rilegato

Nonogaki, Saburo; Takumi, Ueno; Ito, Toshio

 
9780824799519: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Rilegato
ISBN 10: 0824799518 ISBN 13: 9780824799519
Casa editrice: CRC Press, 1998

Sinossi

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

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Informazioni sull?autore

Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito

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Editore
CRC Press
Data di pubblicazione
1998
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0824799518
ISBN 13 
9780824799519
Rilegatura
Copertina rigida
Numero edizione
1
Numero di pagine
336
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile

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Casa editrice: CRC Press Inc, 1998
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