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Sinossi
"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."
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Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Marcel Dekker, USA, 1998
ISBN 10: 0824799518
ISBN 13: 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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