Introduction to Microlithography - Rilegato

 
9780841228481: Introduction to Microlithography
Rilegato
ISBN 10: 0841228485 ISBN 13: 9780841228481
Casa editrice: American Chemical Society, 1994

Sinossi

Updated and expanded! Reviews the theory, materials, and processes that are used in the lithographic process. Opens with a brief historical introduction to the advances in microlithography. Discusses four major topics: the physics of the lithographic process, organic resist materials, resist processing, and plasma etching. Designed as a tutorial for researchers with no experience in the field, as well as those experienced in microlithography. Will also prove invaluable to those already involved in microlithography. Includes numerous references for more detailed reading on specific aspects of microlithography.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Contenuti

  • L.F. Thompson: An Introduction to Lithography
  • M.J. Bowden: The Lithographic Process: The Physics
  • C.G. Willson: Organic Resist Materials
  • L.F. Thompson: Resist Processing
  • J.A. Mucha, D.W. Hess, and E.S. Aydil: Plasma Etching

Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
American Chemical Society
Data di pubblicazione
1994
Lingua
Inglese
ISBN 10 
0841228485
ISBN 13 
9780841228481
Rilegatura
Copertina rigida
Numero edizione
2
Numero di pagine
540
Redattore
Thompson Larry F., Willson C. Grant, Bowden Murrae J.
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile