Sinossi
Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.
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Informazioni sull?autore
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Da: Better World Books, Mishawaka, IN, U.S.A.
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Condizione: Good. Pages intact with minimal writing/highlighting. The binding may be loose and creased. Dust jackets/supplements are not included. Stock photo provided. Product includes identifying sticker. Better World Books: Buy Books. Do Good. Codice articolo 5307233-6
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Da: Better World Books: West, Reno, NV, U.S.A.
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Condizione: Good. Former library copy. Pages intact with minimal writing/highlighting. The binding may be loose and creased. Dust jackets/supplements are not included. Includes library markings. Stock photo provided. Product includes identifying sticker. Better World Books: Buy Books. Do Good. Codice articolo 13331107-6
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Editore:
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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ISBN 13: 9780890065815
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ISBN 13: 9780890065815
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