Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions - Brossura

Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D.; Cuomo, Jerome J.

 
9781493303359: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions
Brossura
ISBN 10: 149330335X ISBN 13: 9781493303359
Casa editrice: William Andrew, 2010

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Sinossi

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

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Recensione

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

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Editore
William Andrew
Data di pubblicazione
2010
Lingua
Inglese
ISBN 10 
149330335X
ISBN 13 
9781493303359
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
546
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile

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Edizione in evidenza

ISBN 10:  0815512201 ISBN 13:  9780815512202
Casa editrice: Noyes Pubns, 1990
Rilegato