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Sputtering by Particle Bombardment I: Physical Sputtering of Single-Element Solids: 47 - Brossura

 
9783662308882: Sputtering by Particle Bombardment I: Physical Sputtering of Single-Element Solids: 47
Brossura
ISBN 10: 3662308886 ISBN 13: 9783662308882
Casa editrice: Springer, 2014

Sinossi

With contributions by numerous experts

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Contenuti

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

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Editore
Springer
Data di pubblicazione
2014
Lingua
Inglese
ISBN 10 
3662308886
ISBN 13 
9783662308882
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
300
Redattore
Behrisch R.
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
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