Sputtering by Particle Bombardment I: Physical Sputtering of Single-Element Solids: 47 - Brossura

 
9783662308882: Sputtering by Particle Bombardment I: Physical Sputtering of Single-Element Solids: 47

Sinossi

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Contenuti

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

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Altre edizioni note dello stesso titolo

9783540105213: Sputtering by Particle Bombardment I: Physical Sputtering of Single-Element Solids

Edizione in evidenza

ISBN 10:  3540105212 ISBN 13:  9783540105213
Casa editrice: Springer-Verlag Berlin and Heide..., 1981
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