Advanced Materials for Interconnections: Proceedings of Symposium J on Advanced Materials for Interconnections of the 1996 E-MRS Spring Conference, . Research Society Symposia Proceedings)

Editore

Elsevier Science 1997-12-18

Data di pubblicazione

1997

Lingua

Inglese

ISBN 10

0444205071

ISBN 13

9780444205070

Rilegatura

Hardcover

Condizione

New

Cataloghi dei venditori

Descrizione articolo

Riassunto

The conference "Advanced Materials for Interconnections" took place in Strasbourg on 4-7 June 1996 hosted by the EMRS Society. Based on the recent trends in microelectronics the main topics of the conference were new materials for interconnects like special aluminum alloys, tungsten and copper as well as low k dielectric materials.

64 Papers were presented at the conference and 51 of these are contained as full length papers within this volume of Microelectronic Engineering.

The proceedings are divided into 5 chapters. Chapter 1 related to Metallization discusses cluster equipment for IC manufacturing, copper advanced technology, gap filling, mechanical reliability, deposition technology, electroless and electro-plating, copper metallization copper interconnects and patterning of aluminum. Chapter 2, Process Integration, discusses multilevel interconnect, study on thin-film SOI devices, wet cleanings, influence of material characteristics and deposition processes, copper contamination and metallization, plasma behaviour, CMP processes, sub-micron inverse metallisation, interconnect formation and mechanical polishing investigations. Chapter 3 covers Barriers, and chapter 4 studies, evaluates and monitors Dielectrics. The final chapter looks at modelling comparisons.

Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Descrizione libreria

Visita la pagina della libreria

Informazioni sull?azienda del venditore

WRAP Ltd
Unit 4, 119 Loverock Rd, Reading, RG30 1DZ, United Kingdom

Condizioni di vendita e spedizione

Condizioni di vendita

TBA

Diritto di recesso

Condizioni di spedizione

Shipping costs are based on books weighing 2.2 LB, or 1 KG. If your book order is heavy or oversized, we may contact you to let you know extra shipping is required.

Tariffe di spedizione da Regno Unito a U.S.A.

Tariffe di spedizione da Regno Unito a U.S.A.
Quantit� dell?ordine	Da 14 a 21 giorni lavorativi	Da 14 a 21 giorni lavorativi
Primo articolo	EUR 17.90	EUR 17.90

I tempi di consegna sono stabiliti dai venditori e variano in base al corriere e al paese. Gli ordini che devono attraversare una dogana possono subire ritardi e spetta agli acquirenti pagare eventuali tariffe o dazi associati. I venditori possono contattarti in merito ad addebiti aggiuntivi dovuti a eventuali maggiorazioni dei costi di spedizione dei tuoi articoli.