Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
Lingua: inglese
Editore: Wiley-VCH 2021-04-19, 2021
- Brossura
- Nuovo
Da: Chiron Media, Wallingford, Regno UnitoChiron Media
Venditore AbeBooks dal 2 agosto 2010
Condizione: Nuovo
EUR 114,00
Quantità: 1 disponibile
Aggiungi al carrelloDescrizione dell’articolo da parte del venditore
Brand new book, sourced directly from publisher. Dispatch time is 24-48 hours from our warehouse. Book will be sent in robust, secure packaging to ensure it reaches you securely.
Codice articolo 6666-GRD-9783527346684
- Titolo
- Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
- Autore
- Thorsten Lill
- Editore
- Wiley-VCH 2021-04-19
- Anno di pubblicazione
- 2021
- Condizione
- New
- Rilegatura
- Paperback
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 3527346686
- ISBN 13
- 9783527346684
Learn about fundamental and advanced topics in etching with this practical guide
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology delivers a hands-on, one-stop resource for understanding etching technologies and their applications. The distinguished scientist, executive, and author offers readers in-depth information on the various etching technologies used in the semiconductor industry, including thermal, isotropic atomic layer, radical, ion-assisted, and reactive ion etching.
The book begins with a brief history of etching technology and the role it has played in the information technology revolution, along with a collection of commonly used terminology in the industry. It then moves on to discuss a variety of different etching techniques, before concluding with discussions of the fundamentals of etching reactor design and newly emerging topics in the field such as the role played by artificial intelligence in the technology.
Atomic Layer Processing includes a wide variety of other topics as well, all of which contribute to the author's goal of providing the reader with an atomic-level understanding of dry etching technology sufficient to develop specific solutions for existing and emerging semiconductor technologies. Readers will benefit from:
- A complete discussion of the fundamentals of how to remove atoms from various surfaces
- An examination of emerging etching technologies, including laser and electron beam assisted etching
- A treatment of process control in etching technology and the role played by artificial intelligence
- Analyses of a wide variety of etching methods, including thermal or vapor etching, isotropic atomic layer etching, radical etching, directional atomic layer etching, and more
Perfect for materials scientists, semiconductor physicists, and surface chemists, Atomic Layer Processing will also earn a place in the libraries of engineering scientists in industry and academia, as well as anyone involved with the manufacture of semiconductor technology. The author's close involvement with corporate research & development and academic research allows the book to offer a uniquely multifaceted approach to the subject.
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Informazioni sull’autore
"Descrizione articolo" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Chiron Media
Wallingford, Regno Unito
Venditore AbeBooks dal 2 agosto 2010
Tariffe di spedizione da Regno Unito a U.S.A.
| Articolo | Da 19 a 33 giorni lavorativi | Da 19 a 33 giorni lavorativi |
|---|---|---|
| Primo articolo | EUR 7,65 | EUR 7,65 |
Metodi di pagamento
Informazioni sull’azienda del venditore
WRAP Ltd
Unit 4, 119 Loverock Rd
Reading, Regno Unito RG30 1DZ
Condizioni di vendita
TBA
Diritto di recesso
Se sei un consumatore puoi recedere dal contratto in conformità con quanto segue. Per Consumatore si intende qualsiasi persona fisica che agisce per scopi estranei alla propria attività commerciale, imprenditoriale, artigianale o professionale.
Informazioni sul diritto di recesso
Diritto legale di recesso
Hai il diritto di recedere dal presente contratto entro 14 giorni senza fornire alcuna motivazione.
Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.
Per esercitare il diritto di recesso, compila e invia elettronicamente una dichiarazione esplicita sul nostro sito Web, alla voce “I miei acquisti” nella sezione “Mio account”. Ti comunicheremo senza indugio una conferma di ricezione di tale recesso su un supporto durevole (ad es. via e-mail).
Per rispettare il termine di recesso, è sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.
Effetti del recesso
In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).
Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.
Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.
Il rimborso sarà effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.
Possiamo trattenere il rimborso finché non avremo ricevuto i beni oppure finché non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.
Dovrai rispedire i beni o consegnarli a Chiron Media, Wallingford, United Kingdom, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volontà di recedere dal presente contratto. Il termine è rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.
Eccezioni al diritto di recesso
Il diritto di recesso non si applica a:
- La fornitura di giornali, periodici o riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento; e
- La fornitura di contenuto digitale non fornito su un supporto materiale (ad es. su un CD o DVD), se al momento dell'invio dell'ordine hai accettato l'inizio dell'esecuzione e hai riconosciuto che non avresti potuto recedere una volta iniziata l'esecuzione.
Condizioni di spedizione
Shipping costs are based on books weighing 2.2 LB, or 1 KG. If your book order is heavy or oversized, we may contact you to let you know extra shipping is required.