Bringing Scanning Probe Microscopy Up to Speed
Minne, Stephen C.; Manalis, Scott R. (Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, USA); Quate, Calvin F. (Stanford University, California, USA)
Lingua: inglese
Editore: Kluwer Academic Publishers, 1999
- Rilegato
- Nuovo

Da: Kennys Bookstore, Olney, MD, U.S.A.Kennys Bookstore
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Introduces the principles of scanning probe systems focusing on techniques for increasing speed. This book includes information on the characteristics and limitations of machines as well as the properties of the systems that follow in the future. Series: Microsystems. Num Pages: 159 pages, biography. BIC Classification: PDND; TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 234 x 156 x 11. Weight in Grams: 426. . 1999. Hardback. . . . . Books ship from the US and Ireland.
Codice articolo V9780792384663
- Titolo
- Bringing Scanning Probe Microscopy Up to Speed
- Autore
- Minne, Stephen C.; Manalis, Scott R. (Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, USA); Quate, Calvin F. (Stanford University, California, USA)
- Editore
- Kluwer Academic Publishers
- Anno di pubblicazione
- 1999
- Condizione
- New
- Rilegatura
- Rilegato
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0792384660
- ISBN 13
- 9780792384663
The key components of the SPM are the mechanical microcantilever with integrated tip and the systems used to measure its deflection. In essence, the entire apparatus is devoted to moving the tip over a surface with a well-controlled force. The mechanical response of the actuator that governs the force is of the utmost importance since it determines the scanning speed. The mechanical response relates directly to the size of the actuator; smaller is faster. Traditional scanning probe microscopes rely on piezoelectric tubes of centimeter size to move the probe. In future scanning probe systems, the large actuators will be replaced with cantilevers where the actuators are integrated on the beam. These will be combined in arrays of multiple cantilevers with MEMS as the key technology for the fabrication process.
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Recensione
The Physicist, 37:2 (2000)
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Conor Kenny
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