Characterization of Silicon Membrane Wafers and Optimization of their Process Stability for Ultra-Thin Chip Fabrication

Angelopoulos, Evangelos

Editore: Der Andere Verlag, 2012

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Zustand: Sehr gut | Seiten: 160 | Sprache: Englisch | Produktart: B�cher.

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Dati bibliografici

Titolo

Characterization of Silicon Membrane Wafers and Optimization of their Process Stability for Ultra-Thin Chip Fabrication

Editore

Der Andere Verlag

Data di pubblicazione

2012

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Condizione

Sehr gut

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Descrizione libreria

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