Design for Manufacturability with Advanced Lithography

Lingua: inglese

Editore: Springer International Publishing Nov 2015, 2015

3319203843 / 9783319203843

Da: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, GermaniaBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability problems with advanced lithography. Unlike books that discuss DFM from the product level or physical manufacturing level, this book describes DFM solutions from a circuit design level, such that most of the critical problems can be formulated and solved through combinatorial algorithms. 176 pp. Englisch.

Codice articolo 9783319203843

Titolo
Design for Manufacturability with Advanced Lithography
Autore
David Z. Pan
Editore
Springer International Publishing Nov 2015
Anno di pubblicazione
2015
Condizione
Neu
Rilegatura
Buch
Lingua
inglese
ISBN 10
3319203843
ISBN 13
9783319203843
Peso dell'articolo
436 grammi
Dimensioni
241x160x16 mm

BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

Bergisch Gladbach, Germania

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