Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices

Lingua: inglese

Editore: MDPI AG, 2019

3039210688 / 9783039210688

Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Micro and nano-electro-mechanical system (M/NEMS) devices constitute key technological building blocks to enable increased additional functionalities within Integrated Circuits (ICs) in the More-Than-Moore era, as described in the International Technology Roadmap for Semiconductors. The CMOS ICs and M/NEMS dies can be combined in the same package (SiP), or integrated within a single chip (SoC). In the SoC approach the M/NEMS devices are monolithically integrated together with CMOS circuitry allowing the development of compact and low-cost CMOS-M/NEMS devices for multiple applications (physical sensors, chemical sensors, biosensors, actuators, energy actuators, filters, mechanical relays, and others). On-chip CMOS electronics integration can overcome limitations related to the extremely low-level signals in sub-micrometer and nanometer scale electromechanical transducers enabling novel breakthrough applications. This Special Issue aims to gather high quality research contributions dealing with MEMS and NEMS devices monolithically integrated with CMOS, independently of the final application and fabrication approach adopted (MEMS-first, interleaved MEMS, MEMS-last or others).].…

Codice articolo 9783039210688

Titolo
Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices
Autore
Jaume Verd
Editore
MDPI AG
Anno di pubblicazione
2019
Condizione
Neu
Rilegatura
Taschenbuch
Lingua
inglese
ISBN 10
3039210688
ISBN 13
9783039210688
Peso dell'articolo
437 grammi
Dimensioni
244x170x11 mm

AHA-BUCH GmbH

Einbeck, Germania

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