Dielectric Films for Advanced Microelectronics
Lingua: inglese
Editore: John Wiley & Sons Mär 2007, 2007
- Rilegato
- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
Venditore AbeBooks dal 14 agosto 2006
Condizione: Nuovo
EUR 339,05
Quantità: 2 disponibili
Aggiungi al carrelloDescrizione dell’articolo da parte del venditore
Neuware - The dielectric properties of silicon dioxide (SiO2), such as high resistivity and excellent dielectric strength, have aided the evolution of microelectronics during the past 40 years. Silica films have been successfully used over this period for both gate and interconnect applications in ultra large-scale integration (ULSI) devices. Dielectric films for gate applications need to have a higher dielectric constant, while interconnect dielectric materials need to have a lower dielectric constant, compared with SiO2. In order to maintain the high drive current and gate capacitance required of scaled MOSFETs (metal-oxide-silicon field effect transistors), SiO2 gate dielectrics have decreased in thickness to less than 2 nm today, with a continued effort to shrink to the thickness below 1 nm. However, SiO2 layers thinner than 1.2 nm do not have the insulating properties required of a gate dielectric and ultrathin SiO2 gate dielectrics give rise to a number of problems, such as high gate leakage current and reliability degradation. Therefore, alternative gate dielectric materials are required.SiO2, having been the universal dielectric material for both gate and interlayer dielectric (ILD) applications for many years, must be replaced by materials with a higher dielectric constant for the gate applications and a reduced dielectric constant for interconnect applications. Replacements for silicon dioxide, such as HfO2, ZrO2, and Al2O3, for introduction as high-k dielectrics (described in the central section of the book), have material properties that are quite different compared with those of traditional dense SiO2 and these differences create many technological challenges that are the subject of intensive research. In addition, not only the development of new gate materials but also re-engineering of many technological processes is needed. For example, in the case of low-k materials (discussed in the first section of the book), active species formed during different technological processes diffuse into the pores and create severe damage. All these problems have been stimulating the development of new technological approaches, which will be dealt with in this book.This book presents an in-depth overview of novel developments made by scientific leaders in the microelectronics community. It covers a broad range of related topics, from physical principles to design, fabrication, characterization, and application of novel dielectric films. This book is intended for postgraduate level students, PhD students and industrial researchers, to enable them to gain insight into this important area of research.…
Codice articolo 9780470013601
- Titolo
- Dielectric Films for Advanced Microelectronics
- Autore
- Martin Green
- Editore
- John Wiley & Sons Mär 2007
- Anno di pubblicazione
- 2007
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0470013605
- ISBN 13
- 9780470013601
- Peso dell'articolo
- 1052 grammi
- Dimensioni
- 250x175x32 mm
This book presents an in-depth overview of the novel developments made by the scientific leaders in the area of modern dielectric films for advanced microelectronic applications. It contains clear, concise explanations of material science of dielectric films and their problem for device operation, including high-k, low-k, medium-k dielectric films and also specific features and requirements for dielectric films used in the packaging technology. A broad range of related topics are covered, from physical principles to design, fabrication, characterization, and applications of novel dielectric films.
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Informazioni sull’autore
Mikhail R. Baklanov, Principal Scientist, Silicon Process and Device Technology Division, IMEC, Leuven, Belgium
IMEC is the largest independent microelectronics R&D centre in Europe, with over 1250 staff. R&D ranges from the design of complex single-chip and single-package systems for telecommunications and multimedia, new process technologies for optoelectronics, photovoltaics, area-array packing, etc.
"Descrizione articolo" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
AHA-BUCH GmbH
Einbeck, Germania
Venditore AbeBooks dal 14 agosto 2006
Tariffe di spedizione da Germania a U.S.A.
| Articolo | Da 7 a 10 giorni lavorativi | Da 5 a 7 giorni lavorativi |
|---|---|---|
| Primo articolo | EUR 37,86 | EUR 43,12 |
Metodi di pagamento
- Assegno
- Bonifico bancario
- PayPal
Descrizione dello Store
Das Unternehmen AHA-BUCH GmbH: Seit der Gründung von AHA-BUCH im Juli 2005 ist unser Hauptziel, zufriedenen Kunden so schnell und so preisgünstig wie möglich ihren Bücherwunsch zu erfüllen. Unsere Firma beschäftigt 16 Mitarbeiter, die nur ein Ziel kennen: den Kunden und seine Wünsche! Auf über 3700 m2 Fläche haben wir über 100.000 Bücher, Modernes Antiquariat und Spiele auf Lager.
Specializzazione
Kinderbücher & Kinderhör Casetten, German Books, Software, Natur & Tiere, Ratgeber, Sachbücher, Englische Bücher, Medizin & Gesundheit, Universität & StudiumInformazioni sull’azienda del venditore
AHA-BUCH GmbH
Garlebsen 48
Einbeck, Germania 37574
Condizioni di vendita
Imprimere
Informazioni sul venditore:
AHA-BUCH GmbH
rappresentata dall'amministratore delegato Christel Glass
Garlebsen 48
37574 Einbeck
Germania
Telefono: 055639996039
Fax: 055639995974
E-Mail: abebooks@aha-buch.de
USt-IdNr.: DE261904229
registrato presso Registro delle imprese Amtsgerichtes Göttingen
Handelsregisternummer HRB 200691
Risoluzione alternativa delle controversie:
La Commissione europea fornisce una piattaforma per la risoluzione extragiudiziale delle controversie online (piattaforma ODR), accessibile nell'ambito di https://ec.europa.eu/odr.
Siamo membri dell'iniziativa "FairCommerce" dal 25.05.2018.
Per ulteriori informazioni, vedere www.fair-commerce.de.
Diritto di recesso
Se sei un consumatore puoi recedere dal contratto in conformità con quanto segue. Per Consumatore si intende qualsiasi persona fisica che agisce per scopi estranei alla propria attività commerciale, imprenditoriale, artigianale o professionale.
Informazioni sul diritto di recesso
Diritto legale di recesso
Hai il diritto di recedere dal presente contratto entro 14 giorni senza fornire alcuna motivazione.
Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.
Per esercitare il diritto di recesso, compila e invia elettronicamente una dichiarazione esplicita sul nostro sito Web, alla voce “I miei acquisti” nella sezione “Mio account”. Ti comunicheremo senza indugio una conferma di ricezione di tale recesso su un supporto durevole (ad es. via e-mail).
Per rispettare il termine di recesso, è sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.
Effetti del recesso
In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).
Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.
Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.
Il rimborso sarà effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.
Possiamo trattenere il rimborso finché non avremo ricevuto i beni oppure finché non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.
Dovrai rispedire i beni o consegnarli a AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Germany, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volontà di recedere dal presente contratto. Il termine è rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.
Eccezioni al diritto di recesso
Il diritto di recesso non si applica a:
- La fornitura di giornali, periodici o riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento; e
- La fornitura di contenuto digitale non fornito su un supporto materiale (ad es. su un CD o DVD), se al momento dell'invio dell'ordine hai accettato l'inizio dell'esecuzione e hai riconosciuto che non avresti potuto recedere una volta iniziata l'esecuzione.
Condizioni di spedizione
Spediamo il tuo ordine dopo averlo ricevuto
per articoli a portata di mano entro 24 ore,
per articoli con fornitura notturna entro 48 ore.
Nel caso in cui abbiamo bisogno di ordinare un articolo dal nostro fornitore, il nostro tempo di spedizione dipende dalla data di ricezione degli articoli, ma gli articoli verranno spediti lo stesso giorno.
Il nostro obiettivo è quello di inviare gli articoli ordinati nel modo più veloce, ma anche più efficiente e sicuro ai nostri clienti.