Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems (
Lingua: inglese
Editore: Wiley-VCH, 2004
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Codice articolo AN-HCJG-15HZ
- Titolo
- Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems (
- Editore
- Wiley-VCH
- Anno di pubblicazione
- 2004
- Condizione
- Gut
- Rilegatura
- Rilegato
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 352730746X
- ISBN 13
- 9783527307463
Sensor systems, microreactors, nanostructures, nanomachines, functional surfaces, integrated optics, displays, communications technology, biochips, human/machine interfaces, prosthetics, miniaturized medical and surgery equipment and many more opportunities are being explored.
This new series, Advanced Micro & Nanosystems, provides cutting-edge reviews from top authors on technologies, devices and advanced systems from the micro and nano worlds.
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Informazioni sull’autore
Oliver Brand is Professor of Bioengineering and Microelectronics/Microsystems at Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA. He received his diploma degree in Physics from Technical University Karlsruhe, Germany, in 1990, and his PhD from ETH Zurich, Switzerland, in 1994. Between 1995 and 2002, he held research and teaching positions at the Georgia Institute of Technology (1995-1997) and ETH Zurich (1997-2002). Oliver Brand?s research interest is in the areas of CMOS-based micro- and nanosystems, MEMS fabrication technologies, and microsystem packaging.
Gary K. Fedder is Professor of Electrical and Computer Engineering, Professor of The Robotics Institute and the Director of the Institute for Complex Engineered Systems (ICES) at Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA. He received the BSc and MSc degrees in electrical engineering from MIT in 1982 and 1984, respectively, and his PhD in 1994 from the University of California, Berkeley. His research interests include microelectromechanical systems (MEMS) modeling, simulation and synthesis, integration of MEMS and CMOS, microsensor design, microactuator control systems, and probe-based nanofabrication technologies.
Christofer Hierold holds the Chair of Micro- and Nanosystems at the ETH in Zurich, Switzerland, since April 2002. Prior to that, he spent eleven years with Siemens AG and Infineon Technologies AG, responsible for R&D on microsystems, advanced CMOS processes, memories, nanoelectronics and new materials. His current research work focuses on the evaluation of new materials for MEMS, on advanced microsystems and on nanotransducers. He holds numerous patents and has published over 20 research articles in peer reviewed journals and international conference proceedings. He serves on the program committees of several scientific conferences such as the IEEE MEMS series.
Jan G. Korvink holds a Chair for Microsystems Engineering at the University of Freiburg, Germany, where he also directs the Freiburg Institute for Advanced Studies - FRIAS. He has co-authored more than 160 papers in scientific journals, as well as numerous conference papers, book chapters and a book on semiconductors for engineers. His research interests cover the modeling, simulation and low cost fabrication of MEMS/NEMS, and applications in magnetic resonance. In 2011 he received a European Research Council (ERC) Advanced Grant, the Red Dot Design Concept Award and the University of Freiburg Teaching Award.
Osamu Tabata is Professor in the Department of Microengineering at Kyoto University. He received his MSc and PhD degrees from Nagoya Institute of Technology. From 1981 to 1996, he performed industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi, Japan. He joined the Department of Mechanical Engineering of Ritsumeikan University in Shiga, Japan, in 1996, and the Department of Mechanical Engineering at Kyoto University in 2003. Osamu Tabata is engaged in the research of micro/nano processes, MEMS and micro/nano system synthetic engineering. He received numerous awards, including the Science News Award and the Research & Development Top 100 Award in 1993 and 1998.
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