Fundamental Principles of Engineering Nanometrology (Micro & Nano Technologies)
Lingua: inglese
Editore: William Andrew, 2009
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- Nuovo
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Neu neuware, importqualität, auf lager - Fundamental Principles of Engineering Nanometrology provides a comprehensive overview of engineering metrology and how it relates to micro and nanotechnology (MNT) research and manufacturing. By combining established knowledge with the latest advances from the field, it presents a comprehensive single volume that can be used for professional reference and academic study.
Codice articolo INF1000428118
- Titolo
- Fundamental Principles of Engineering Nanometrology (Micro & Nano Technologies)
- Autore
- Richard Leach
- Editore
- William Andrew
- Anno di pubblicazione
- 2009
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Gebundene Ausgabe
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0080964540
- ISBN 13
- 9780080964546
- Peso dell'articolo
- 880 grammi
- Dimensioni
- 254x178x23 mm
The principles of engineering metrology applied to the micro- and nanoscale: essential reading for all scientists and engineers involved in the commercialisation of nanotechnology and measurement processes requiring accuracy at the nanoscale.
The establishment of common standards will be an essential key to unlocking the commercial potential of Micro- and Nanotechnologies (MNT), enabling fabrication plants to interchange parts, packaging and design rules. Effectively MNT standardization will provide the micro- and nanoscale equivalents of macro-scale nuts and bolts or house bricks. Currently there is a major thrust for standardization of MNT activities, with committees of the ISO, IEC and numerous national and regional committees being set up.
In this book Professor Richard Leach, of the UKs National Physical Laboratory (NPL) makes a significant contribution to standardization in the field of MNT, extending the principles of engineering metrology to the micro- and nanoscale, with a focus on dimensional and mass metrology. The principles and techniques covered in this book form the essential toolkit for scientists and engineers involved in the commercialisation of nanotechnology and measurement processes requiring accuracy at the nanoscale.
Key topics covered include:
- Basic metrological terminology, and the highly important topic of measurement uncertainty.
- Instrumentation, including an introduction to the laser
- Measurement of length using optical interferometry, including gauge block interferometry
- Displacement measurement and sensors
- Surface texture measurement, stylus, optical and scanning probe instruments, calibration, profile and areal characterisation
- Coordinate metrology
- Low mass and force metrology
About the Author
Professor Richard Leach is a Principal Research Scientist in the Mass & Dimensional Group, Engineering Measurement Division at the National Physical Laboratory (NPL), UK.
- Provides a basic introduction to measurement and instruments
- Thoroughly presents numerous measurement techniques, from static length and displacement to surface topography, mass and force
- Covers multiple optical surface measuring instruments and related topics (interferometry, triangulation, confocal , variable focus, and scattering instruments)
- Explains, in depth, the calibration of surface topography measuring instruments (traceability; calibration of profile and areal surface texture measuring instruments; uncertainties)
- Discusses the material in a way that is comprehensible to even those with only a limited mathematical knowledge
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