Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, Second Edition
Lingua: inglese
Editore: CRC Press, 2002
- Rilegato
- Usato
Da: Phatpocket Limited, Waltham Abbey, HERTS, Regno UnitoPhatpocket Limited
Venditore AbeBooks dal 28 aprile 2005
Condizione: Usato - Buono
EUR 7,21
Quantità: 1 disponibile
Aggiungi al carrelloDescrizione dell’articolo da parte del venditore
Your purchase helps support Sri Lankan Children's Charity 'The Rainbow Centre'. Ex-library, so some stamps and wear, but in good overall condition. Our donations to The Rainbow Centre have helped provide an education and a safe haven to hundreds of children who live in appalling conditions.
Codice articolo Z1-Y-017-00814
- Titolo
- Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, Second Edition
- Autore
- Madou, Marc J.
- Editore
- CRC Press
- Anno di pubblicazione
- 2002
- Condizione
- Good
- Rilegatura
- Rilegato
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0849308267
- ISBN 13
- 9780849308260
- Edizione
- seconda edizione
MEMS technology and applications have grown at a tremendous pace, while structural dimensions have grown smaller and smaller, reaching down even to the molecular level. With this movement have come new types of applications and rapid advances in the technologies and techniques needed to fabricate the increasingly miniature devices that are literally changing our world.
A bestseller in its first edition, Fundamentals of Microfabrication, Second Edition reflects the many developments in methods, materials, and applications that have emerged recently. Renowned author Marc Madou has added exercise sets to each chapter, thus answering the need for a textbook in this field.
Fundamentals of Microfabrication, Second Edition offers unique, in-depth coverage of the science of miniaturization, its methods, and materials. From the fundamentals of lithography through bonding and packaging to quantum structures and molecular engineering, it provides the background, tools, and directions you need to confidently choose fabrication methods and materials for a particular miniaturization problem.
New in the Second Edition
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Contenuti
Introduction
Historical Note: Lithography's Origins
Photolithography Overview
Critical Dimension, Overall Resolution, Line-Width
Lithographic Sensitivity and Intrinsic Resist Sensitivity (Photochemical Quantum Efficiency)
Resist Profiles
Contrast and Experimental Determination of Lithographic Sensitivity
Resolution in Photolithography
Photolithography Resolution Enhancement Technology
Beyond Moore's Law
Next Generation Lithographies
Emerging Lithography Technologies
PATTERN TRANSFER WITH DRY ETCHING TECHNIQUES
Introduction
Dry Etching: Definitions and Jargon
Plasmas or Discharges
Physical Etching: Ion Etching or Sputtering and Ion-Beam Milling
Plasma Etching (Radical Etching)
Physical/Chemical Etching
PATTERN TRANSFER WITH ADDITIVE TECHNIQUES
Introduction
Silicon Growth
Doping of Si
Oxidation of Silicon
Physical Vapor Deposition
Chemical Vapor Deposition
Silk-Screening or Screen-Printing
Sol-Gel Deposition Technique
Doctors' Blade or Tape Casting
Plasma Spraying
Deposition and Arraying Methods of Organic Layers in BIOMEMS
Thin versus Thick Film Deposition
Selection Criteria for Deposition Method
WET BULK MICROMACHINING
Introduction
Historical Note
Silicon Crystallography
Silicon As Substrate
Silicon As A Mechanical Element In MEMS
Wet Isotropic And Anisotropic Etching
Alignment Patterns
Chemical Etching Models
Etching With Bias And/Or Illumination Of The Semiconductor
Etch-Stop Techniques
Problems With Wet Bulk Micromachining
SURFACE MICROMACHINING
Introduction
Historical Note
Mechanical Properties of Thin Films
Surface Micromachining Processes
Poly-Si Surface Micromachining Modifications
Non-Poly-Si Surface Micromachining Modifications
Materials Case Studies
LIGA AND MICROMOLDING
Introduction
LIGA-Background
LIGA and LIGA-Like Process Steps
A COMPARISON OF MINIATURIZATION TECHNIQUES: TOP-DOWN AND BOTTOM-UP MANUFACTURING
Introduction
Absolute and Relative Tolerance in Manufacturing
Historical Note: Human Manufacturing
Section I: Top-Down Manufacturing Methods
Section II: Bottom-Up Approaches
MODELING, BRAINS, PACKAGING, SAMPLE PREPARATION AND NEW MEMS MATERIALS
Introduction
Modeling
Brains In Miniaturization
Packaging
Substrate Choice
SCALING, ACTUATORS, AND POWER IN MINIATURIZED SYSTEMS
Introduction
Scaling
Actuators
Fluidics
Scaling In Analytical Separation Equipment
Other Actuators
Integrated Power
MINIATURIZATION APPLICATIONS
Introduction
Definitions and Classification Method
Decision Three
OVERALL MARKET For MICROMACHINES
Introduction
Why Use Miniaturization Technology ?
From Perception to Realization
Overall MEMS Market Size
MEMS Market Character
MEMS Based on Si
Non-Silicon MEMS
MEMS versus Traditional Precision Engineering
The Times are a'Changing
APPENDICES
Metrology Techniques
WWW Linkpage
Etch Rate for Si, SiO2
Summary of Top-Down Miniaturization Tools
Listing of names of 20 amino acids & their chemical formulas; Genetic code
Summary of Materials and Their Properties for Microfabrication
References for Detailed Market Information on Miniature Devices
MEMS Companies Update
Suggested Further Reading
Glossary
Symbols used in Text
INDEX
Each chapter also contains sections of examples and problems
"Descrizione articolo" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Phatpocket Limited
Waltham Abbey, HERTS, Regno Unito
Venditore AbeBooks dal 28 aprile 2005
Tariffe di spedizione da Regno Unito a U.S.A.
| Articolo | Da 5 a 19 giorni lavorativi | Da 1 a 3 giorni lavorativi |
|---|---|---|
| Primo articolo | EUR 12,41 | EUR 31,48 |
Metodi di pagamento
Descrizione dello Store
Phatpocket Limited is a world class secondhand bookstore located in the Hertfordshire countryside in the United Kingdom. We specialize in textbooks across an enormous variety of subjects. We aim to provide a low cost source of high quality textbooks to the academic community. We also have a sizable collection of rare and collectible books. We are dedicated to providing our customers with the highest standard of customer service in the bookselling business.Phatpocket Limited is registered in England and Wales: No. 04924751.…
Specializzazione
Used books, Used textbooksInformazioni sull’azienda del venditore
Phatpocket Limited
67 Newland Street
Witham, Regno Unito CM8 1AA
Condizioni di vendita
Books are usually shipped within two working days. All of our books have a 14 or 30 day no hassle money back guarantee unless stated otherwise in the book's description. Item must be returned in the exact same condition that it was received. Through our work with The Rainbow Centre and other Charity Partners, we have already given hundreds of young people in Sri Lanka and Africa the vital chance to get an education.
Your satisfaction is extremely important to us and we would be happy to work with you to try and resolve any issues with your order. Please contact us via the Abe messaging centre regarding any problems and we will respond asap.
Please kindly send any return requests or reports of defects, damage, or material differences within 7 days of receipt of your order or 30 days from the date of shipment.
If you are making a return we will need to receive the item within 30 days from the date of shipment for UK orders or 90 days from the date of shipment for international orders. Similarly, we require that non-deliveries be reported within 30 days from the date of shipment for UK orders or 90 days from the date of shipment for international orders.
If your parcel is returned by the postal service due to being unclaimed, refused, or having an undeliverable or insufficient address, we will contact you to try and resolve the issue. If this is not possible, or if we do not hear back, we will refund you the cost of your order minus the original postage paid.
Diritto di recesso
Se sei un consumatore puoi recedere dal contratto in conformità con quanto segue. Per Consumatore si intende qualsiasi persona fisica che agisce per scopi estranei alla propria attività commerciale, imprenditoriale, artigianale o professionale.
Informazioni sul diritto di recesso
Diritto legale di recesso
Hai il diritto di recedere dal presente contratto entro 14 giorni senza fornire alcuna motivazione.
Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.
Per esercitare il diritto di recesso, compila e invia elettronicamente una dichiarazione esplicita sul nostro sito Web, alla voce “I miei acquisti” nella sezione “Mio account”. Ti comunicheremo senza indugio una conferma di ricezione di tale recesso su un supporto durevole (ad es. via e-mail).
Per rispettare il termine di recesso, è sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.
Effetti del recesso
In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).
Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.
Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.
Il rimborso sarà effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.
Possiamo trattenere il rimborso finché non avremo ricevuto i beni oppure finché non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.
Dovrai rispedire i beni o consegnarli a Phatpocket Limited, Waltham Abbey, ESSEX, United Kingdom, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volontà di recedere dal presente contratto. Il termine è rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.
Eccezioni al diritto di recesso
Il diritto di recesso non si applica a:
- La fornitura di giornali, periodici o riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento; e
- La fornitura di contenuto digitale non fornito su un supporto materiale (ad es. su un CD o DVD), se al momento dell'invio dell'ordine hai accettato l'inizio dell'esecuzione e hai riconosciuto che non avresti potuto recedere una volta iniziata l'esecuzione.
Condizioni di spedizione
Orders usually ship within 2 business days. Shipping costs are based on books weighing 2.2 LB, or 1 KG. If your book order is heavy or oversized, we may contact you to let you know extra shipping is required.
In spite of our best efforts, a small number of the items in our catalogue may be mispriced or out of stock. If an item's correct price is higher than our stated price, we will, at our discretion, either contact you for instructions before shipping or cancel your order and notify you of such cancellation.