Titolo: Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, Second Edition
Editore: CRC Press
Data di pubblicazione: 2002
Lingua: Inglese
ISBN 10: 0849308267
ISBN 13: 9780849308260
Rilegatura: Hardcover
Edizione: seconda edizione
Condizione: Fair
Condizione della sovraccoperta: No Jacket
Peso: 4,39 libbre

Descrizione articolo

Riassunto

MEMS technology and applications have grown at a tremendous pace, while structural dimensions have grown smaller and smaller, reaching down even to the molecular level. With this movement have come new types of applications and rapid advances in the technologies and techniques needed to fabricate the increasingly miniature devices that are literally changing our world.

A bestseller in its first edition, Fundamentals of Microfabrication, Second Edition reflects the many developments in methods, materials, and applications that have emerged recently. Renowned author Marc Madou has added exercise sets to each chapter, thus answering the need for a textbook in this field.

Fundamentals of Microfabrication, Second Edition offers unique, in-depth coverage of the science of miniaturization, its methods, and materials. From the fundamentals of lithography through bonding and packaging to quantum structures and molecular engineering, it provides the background, tools, and directions you need to confidently choose fabrication methods and materials for a particular miniaturization problem.

New in the Second Edition

Revised chapters that reflect the many recent advances in the field

Updated and enhanced discussions of topics including DNA arrays, microfluidics, micromolding techniques, and nanotechnology

In-depth coverage of bio-MEMs, RF-MEMs, high-temperature, and optical MEMs.

Many more links to the Web

Problem sets in each chapter

Contenuti

LITHOGRAPHY
Introduction
Historical Note: Lithography's Origins
Photolithography Overview
Critical Dimension, Overall Resolution, Line-Width
Lithographic Sensitivity and Intrinsic Resist Sensitivity (Photochemical Quantum Efficiency)
Resist Profiles
Contrast and Experimental Determination of Lithographic Sensitivity
Resolution in Photolithography
Photolithography Resolution Enhancement Technology
Beyond Moore's Law
Next Generation Lithographies
Emerging Lithography Technologies
PATTERN TRANSFER WITH DRY ETCHING TECHNIQUES
Introduction
Dry Etching: Definitions and Jargon
Plasmas or Discharges
Physical Etching: Ion Etching or Sputtering and Ion-Beam Milling
Plasma Etching (Radical Etching)
Physical/Chemical Etching
PATTERN TRANSFER WITH ADDITIVE TECHNIQUES
Introduction
Silicon Growth
Doping of Si
Oxidation of Silicon
Physical Vapor Deposition
Chemical Vapor Deposition
Silk-Screening or Screen-Printing
Sol-Gel Deposition Technique
Doctors' Blade or Tape Casting
Plasma Spraying
Deposition and Arraying Methods of Organic Layers in BIOMEMS
Thin versus Thick Film Deposition
Selection Criteria for Deposition Method
WET BULK MICROMACHINING
Introduction
Historical Note
Silicon Crystallography
Silicon As Substrate
Silicon As A Mechanical Element In MEMS
Wet Isotropic And Anisotropic Etching
Alignment Patterns
Chemical Etching Models
Etching With Bias And/Or Illumination Of The Semiconductor
Etch-Stop Techniques
Problems With Wet Bulk Micromachining
SURFACE MICROMACHINING
Introduction
Historical Note
Mechanical Properties of Thin Films
Surface Micromachining Processes
Poly-Si Surface Micromachining Modifications
Non-Poly-Si Surface Micromachining Modifications
Materials Case Studies
LIGA AND MICROMOLDING
Introduction
LIGA-Background
LIGA and LIGA-Like Process Steps
A COMPARISON OF MINIATURIZATION TECHNIQUES: TOP-DOWN AND BOTTOM-UP MANUFACTURING
Introduction
Absolute and Relative Tolerance in Manufacturing
Historical Note: Human Manufacturing
Section I: Top-Down Manufacturing Methods
Section II: Bottom-Up Approaches
MODELING, BRAINS, PACKAGING, SAMPLE PREPARATION AND NEW MEMS MATERIALS
Introduction
Modeling
Brains In Miniaturization
Packaging
Substrate Choice
SCALING, ACTUATORS, AND POWER IN MINIATURIZED SYSTEMS
Introduction
Scaling
Actuators
Fluidics
Scaling In Analytical Separation Equipment
Other Actuators
Integrated Power
MINIATURIZATION APPLICATIONS
Introduction
Definitions and Classification Method
Decision Three
OVERALL MARKET For MICROMACHINES
Introduction
Why Use Miniaturization Technology ?
From Perception to Realization
Overall MEMS Market Size
MEMS Market Character
MEMS Based on Si
Non-Silicon MEMS
MEMS versus Traditional Precision Engineering
The Times are a'Changing
APPENDICES
Metrology Techniques
WWW Linkpage
Etch Rate for Si, SiO2
Summary of Top-Down Miniaturization Tools
Listing of names of 20 amino acids & their chemical formulas; Genetic code
Summary of Materials and Their Properties for Microfabrication
References for Detailed Market Information on Miniature Devices
MEMS Companies Update
Suggested Further Reading
Glossary
Symbols used in Text
INDEX
Each chapter also contains sections of examples and problems

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Diritto di recesso

Se sei un consumatore, puoi esercitare il tuo diritto di recesso seguendo le istruzioni riportate di seguito. Per "consumatore" si intende qualsiasi persona fisica che agisca per fini che non rientrano nel quadro della sua attivit� commerciale, industriale, artigianale o professionale.

Informazioni relative al diritto di recesso

Diritto di recesso

Hai il diritto di recedere dal presente contratto, senza indicarne le ragioni, entro 14 giorni.

Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui

tu acquisisci, o un terzo designato diverso dal vettore e da te acquisisce, il possesso fisico dell'ultimo bene o l'ultimo lotto o pezzo.

Per esercitare il diritto di recesso, sei tenuto a informare Motor City Books, Motor City Books, 20509 Sibley Road, 48193, Brownstown, Michigan, U.S.A., +1 253-275-2251, della tua decisione di recedere dal presente contratto tramite una dichiarazione esplicita (ad esempio lettera inviata per posta, fax o posta elettronica). A tal fine puoi utilizzare il modulo tipo di recesso, ma non e' obbligatorio. Puoi anche compilare e inviare elettronicamente il modulo tipo di recesso o qualsiasi altra esplicita dichiarazione sul nostro sito web, dalla sezione "Ordini" nel "Mio Account". Nel caso scegliessi questa opzione, ti trasmetteremo senza indugio una conferma di ricevimento su un supporto durevole (ad esempio per posta elettronica).

Per rispettare il termine di recesso, � sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso.

Effetti del recesso

Se recedi dal presente contratto, ti saranno rimborsati tutti i pagamenti che hai effettuato a nostro favore, compresi i costi di consegna (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di consegna diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto). Potremo trattenere dal rimborso le somme derivanti da una diminuzione del valore del prodotto risultante da una tua non necessaria manipolazione.

I rimborsi verranno effettuati senza indebito ritardo e in ogni caso non oltre 14 giorni dal giorno in cui siamo stati informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.

Detti rimborsi saranno effettuati utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente convenuto altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso. Il rimborso pu� essere sospeso fino al ricevimento dei beni oppure fino all'avvenuta dimostrazione da parte tua di aver rispedito i beni, se precedente.

Ti preghiamo di rispedire i beni o di consegnarli a Motor City Books, Motor City Books ATTN: Returns, 2337 Centerline Industrial Dr, 63146, St. Louis, Missouri, U.S.A., +1 253-275-2251, senza indebiti ritardi e in ogni caso entro 14 giorni dal giorno in cui hai comunicato il tuo recesso dal presente contratto. Il termine � rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione del bene diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni.

Eccezioni al diritto di recesso

Il diritto di recesso non si applica in caso di:

fornitura di giornali, periodici e riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento per la fornitura di tali pubblicazioni;
fornitura di contenuto digitale (inclusi applicazioni, software, ebook, MP3, ecc.) mediante un supporto non materiale (per esempio un CD o un DVD) se al momento dell'inoltro dell'ordine hai espressamente consentito all'inizio dell'esecuzione accettando la perdita del diritto di recesso in conseguenza dell'inizio di esecuzione.

Modulo di recesso tipo

(Compilare e restituire il presente modulo solo se si desidera recedere dal contratto)

Destinatario: (Motor City Books, Motor City Books, 20509 Sibley Road, 48193, Brownstown, Michigan, U.S.A., +1 253-275-2251)

Con la presente io/noi (*) notifichiamo il recesso dal mio/nostro (*) contratto di vendita dei seguenti beni/servizi (*)

Ordinato il (*) /ricevuto il (*)

Nome del/dei consumatore(i)

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