Global Modeling and Peripheral Plasma : An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge
Lingua: inglese
Editore: VDM Verlag Dr. Müller
- Brossura
- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - In the first part of this book, an improved volume-averaged global model is developed for a cylindrical electronegative plasma that is applicable over a wide range of electron densities, electronegativities, and pressures. It is applied to steady and pulsed-power oxygen discharges. The model incorporates effective volume and surface loss factors for ions and electrons combining three EN discharge regimes spanning the plasma parameters and gas pressures of interest.The second part explores both theoretically and experimentally a capacitive discharge connected through a dielectric or metal slot to a peripheral grounded region, which is used in commercial dual frequency capacitive discharges. Ignition of the peripheral plasma produces effects that are detrimental to processing performance. Discharge models are developed for diffusion and plasma maintenance in the slot, and plasma maintenance in the periphery. The theoretical predictions of ignition conditions are compared with experimental results. Instabilities associated with the loss of confinement are discovered, and a physical model is proposed.…
Codice articolo 9783639139341
Dati bibliografici
- Titolo
- Global Modeling and Peripheral Plasma : An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge
- Autore
- Sungjin Kim
- Editore
- VDM Verlag Dr. Müller
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 3639139348
- ISBN 13
- 9783639139341
- Peso dell'articolo
- 225 grammi
- Dimensioni
- 220x176x33 mm
AHA-BUCH GmbH
Einbeck, Germania
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