Titolo: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication Volume 2 (Hardbound)
Editore: SPIE Press
Data di pubblicazione: 1997
Lingua: Inglese
ISBN 10: 0819423793
ISBN 13: 9780819423795
Rilegatura: Hard cover
Edizione: illustrated Edition.

Descrizione articolo

Riassunto

Part of a compilation of diverse information into a single, two-volume resource just at the moment when researchers are weighing the alternatives to visible light that will be necessary to etch features smaller than 0.13 microns. Volume Two focuses on the process technology and the device applicatio

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