Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology: Science, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology Series)
Lingua: inglese
Editore: William Andrew, 1994
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- Usato

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Codice articolo S_459073742
- Titolo
- Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology: Science, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology Series)
- Autore
- Kern, Werner
- Editore
- William Andrew
- Anno di pubblicazione
- 1994
- Condizione
- Good
- Rilegatura
- Hardcover
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0815513313
- ISBN 13
- 9780815513315
The scope of this book is very broad, covering all aspects of wafer cleaning. Emphasis is on practical applications in the fab combined with authoritative scientific background information to provide a solid scientific basis for understanding the chemical and physical processes involved in cleaning and in the analytical methods of testing and evaluation.
The depth and breadth of the material should appeal to those new in the field as well as to experienced professionals. The volume is intended to serve as a handbook for practitioners and professionals in the field of semiconductor microelectronics, including fab engineers, scientists and technicians. It should also prove useful to manufacturers of processing equipment, persons concerned with contamination control and analysis, and students attending advanced or specialized technical courses.
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Contenuti
Trace Chemical Contamination on Silicon Surfaces
Aqueous Cleaning Processes
Particle Deposition and Adhesion
Overview of Dry Wafer Cleaning Processes
U
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